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日本ULVAC CFB-2000Z脂潤滑分子泵技術參數

發布時間： 2015-12-29　　點擊次數： 1065次

一、產(chan) 品簡介

        CFB-Z係列脂潤滑分子泵其葉輪采用國內(nei) *的變截麵葉齒，軸承采用脂潤滑陶磁精密軸承，以更高的可靠性實現了泵的任意角度安裝和清潔無油的高真空環境，廣泛應用於(yu) 光伏、照明、宇航、半導體(ti) 、能源、軍(jun) 工、激光、家電、新材料、汽車等真空技術的各個(ge) 領域。

 

二、產(chan) 品特點

        

  • 由於對分子量大的氣體有很高的壓縮比，因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得高真空和超高真空。
  • 軸承采用脂潤滑陶瓷精密軸承，可以實現泵的任意角度安裝。

 

三、主要性能指標

 

型號

CFB-2000Z

進氣口法蘭(lan)

—

LF250

CF250

排氣口法蘭(lan)

—

KF50

抽氣速率

L/s

2000

壓縮比N2/H2

—

1×109/1×104

極限壓強

Pa

5×10-7

8×10-8   

電機轉速

rpm

24000

振動值

μm

≤0.1

啟動時間

min

＜6

使用軸承

—

脂潤滑陶瓷軸承

前極泵

L/s

15

冷卻方式

—

水冷（風冷）

冷卻水溫度

℃

≤25

環境溫度

℃

<40

冷卻水流量

L/min

1

安裝方向

—

任意角度

重量

kg

～30

 


三、特性曲線及安裝尺寸

 

CFB係列抗衝(chong) 擊分子泵對大氣的抽速曲線 

CFB係列抗衝(chong) 擊分子泵對氮氣及氫氣壓縮比曲線

 CFB-2000Z安裝尺寸

 

型號規格

CFB-2000Z

高真空法蘭(lan)

LF250

CF250

D1

Ф290

Ф305

D2

Ф295

Ф295

D3

274

274

L1

114

114

H1

317

317

H2

262

262

H3

97.5

97.5

H4

282

282

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