日本ULVAC CFB-1200N耐腐蝕分子泵技術參數

發布時間： 2015-12-29　　點擊次數： 1126次

日本ULVAC CFB-1200N耐腐蝕分子泵一、產(chan) 品簡介

CFB-N係列耐腐蝕分子泵其葉輪采用國內(nei) *的變截麵葉齒，軸承采用陶磁精密軸承，以更高的可靠性實現了清潔無油的高真空環境，產(chan) 品做了耐腐蝕的設計，具有*的耐腐蝕性能，廣泛應用於(yu) 光伏、照明、宇航、半導體(ti) 、能源、軍(jun) 工、激光、家電、新材料、汽車等真空技術的各個(ge) 領域。

日本ULVAC CFB-1200N耐腐蝕分子泵二、產(chan) 品特點

由於對分子量大的氣體有很高的壓縮比，因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得高真空和超高真空。
軸承采用脂潤滑陶瓷精密軸承，可以實現泵的任意角度安裝。

日本ULVAC CFB-1200N耐腐蝕分子泵三、主要性能指標

型號		CFB-1200N
進氣口法蘭(lan)	—	LF200	CF200
排氣口法蘭(lan)	—	KF40
抽氣速率	L/s	1200
壓縮比N2/H2	—	1×109/1×104
極限壓強	Pa	5×10-7	8×10-8
電機轉速	rpm	24000
啟動時間	min	＜5
使用場合	—	耐腐蝕
振動值	μm	≤0.1
前極泵	L/s	8-15
冷卻水溫度	℃	≤20
泵體(ti) 烘烤溫度	℃	<120
冷卻水流量	L/min	1
加熱器功率	W	<600
加熱器輸入電壓	V	AC220
安裝方向	—	垂直±5°
重量	kg	～34

四、特性曲線及安裝尺寸

CFB係列抗衝(chong) 擊分子泵對大氣的抽速曲線

CFB係列抗衝(chong) 擊分子泵對氮氣及氫氣壓縮比曲線

CFB-N係列耐腐蝕複合分子泵安裝尺寸表

型號規格	CFB-1200N
高真空法蘭(lan)	LF200	CF200
D1	Ф240	Ф253
D2	Ф267	Ф267
D3	□167.6	□167.6
L1	142	142
L2	152	152
H1	393	393
H2	108	108
H3	135.5	135.5
H4	104	104
泵腿螺釘孔	4-M8	4-M8

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