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本真空計屬皮拉尼真空計，可測量的壓力範圍從(cong) 大氣壓至5×10-2Pa。本真空計從(cong) 控製麵板上去除了操作及顯示部分，隻保留了必要的功能，從(cong) 而降低了價(jia) 格，使外形更小巧，而且已通過CE認證。
用途
可用於(yu) 半導體(ti) 、電子原件為(wei) 首的各種製造裝置的低真空領域的過程管理；
可用於(yu) 真空爐為(wei) 首的各種產(chan) 業(ye) 機器的低真空領域的過程管理；
可用於(yu) 連續性、多樣性工作室的各種製造設備的低真空領域的過程管理。
特長
可測量範圍廣：從(cong) 大氣壓至5×10-2Pa
傳(chuan) 感器與(yu) 控製部一體(ti) 化：節省空間、降低能耗
名稱 | 皮拉尼真空計 | |||
機型名稱 | 標準型 | 串行通信型 | ||
Model名 | SW1-N1 | SW1-N2 | ||
可連接規管 | 1個(ge) | |||
適用規管 | SWP-16-N | |||
可測量壓力範圍 | 5.0×10-2～1.0×10+5Pa | |||
測量精度※1（N2） | 1×10-1Pa～1×10+4Pa | : ±10% | ||
| 1×10+4Pa～1×10+5Pa、5×10-2Pa～1×10-1Pa | : ±20% | ||
反複性 | 1×10-1Pa～1×10+4Pa | : ± 2% | ||
采樣時間 | 50ms 5次的移動平均處理 | |||
測量值的輸出 | 輸出電壓 DC 0～10V 壓力顯示 1.7V～8.0V LOG輸出 1V/位 | |||
| 更新時間 | 50ms | ||
分辨率 | 4mV | |||
輸出電阻 | 10Ω | |||
輸出電阻 | 10Ω |
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串行通信 |
| RS-485/RS-232C | ||
| 通信速度 | 9600/19200/38400bps | ||
記憶功能 | 通過EEPROM備份 | |||
LED顯示 | POWER／ERROR： 電源、出錯LED | |||
| SET-1： 設定點1 LED |
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| SET-2： 設定點?2 LED | |||
IP保護等級 | IP30 | |||
主體(ti) 重量 | 控製器：約 105g 規管(SWP-16)：約 45g | |||
外形尺寸 | 70×46×28 （控製器）
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